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三坐標測量機是一種精密的測量儀器，它的測量空間中的任何一點都可以達到微米的級別，隨著現在科學的發展，精密制造業的不斷進步，對三坐標測量機的精度要求進一步的提高了，否則很難適應超精加工和科學技術發展的需求。
為了提高三坐標測量機的精度，就要針對能夠影響精度方面的因素做出處理。以下總結出提高三坐標測量機精度的四個步驟，希望能對三坐標測量機的使用者有所幫助。
一：提高標尺的精度，激光干涉標尺系統將在測量機中得到較多應用，特別是大型三坐標測量機，這種“無形”標尺更有獨特的優點。在采用激光干涉標尺時，還有兩個問題需注意。一是不要讓激光產生的熱影響測量機的精度，激光器常放在隔熱艙外，光束通過光纖或反射鏡引入；二是注意折射率的補償。為了減少大氣擾動的影響，可以對光路進行全封閉或半封閉，即讓激光干涉儀在密閉的罩內工作。
二：要提高三坐標測量機結構的精度，包括測量機主機、分度臺、測頭與各種測頭附件的精度。這里尤為重要的是提高他的重復精度。
三，要努力減小力變形、熱變形及其它環境因素帶來的影響。特別要注意避免復雜力變形與熱變形。這要從結構和環境控制兩方面采取措施。
四，還要采用適當的采樣策略。測量機應具有智能功能，能針對被測參數及精度要求，采用較佳采樣策略。
相信，經過上面所說的四個步驟，三坐標測量機的精度將得到進一步的提升，可以更好地為三坐標測量機使用者服務。
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